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製程設備

重點設備
編號 設備名稱 簡介 委託操作 預約方式
1 奈米級金屬氧化物薄膜共濺鍍熱處理系統 M1-1 申請單 TSRI
2 高精度雷射直寫曝光系統 M2-1 申請單 TSRI

 

 

 

 

 

 

非重點設備

編號 設備名稱  簡介   預約方式
1                     清洗蝕刻工作站(有機)                                   本網站預約
2 清洗蝕刻工作站(酸鹼) 本網站預約

 

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