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製程設備

重點設備
編號	設備名稱	簡介	委託操作	預約方式
1	奈米級金屬氧化物薄膜共濺鍍熱處理系統	M1-1	申請單	TSRI
2	高精度雷射直寫曝光系統	M2-1	申請單	TSRI

非重點設備

編號	設備名稱	簡介	預約方式
1	清洗蝕刻工作站(有機)		本網站預約
2	清洗蝕刻工作站(酸鹼)		本網站預約

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